Основная многоточечная термопарура BF

Диффузионная печь окисления является ключевым образовательным оборудованием для производства фотоэлектрических ячеек. Он смешивает и диффундирует следовые количества бора, фосфора и других элементов на кремниевой пластине при высоких температурах для приготовления соединений PN и составления из него интегрированных цепей.

Описание продуктов

Обычно используются термопары, измеряющие как внутренние, так и внешние части печи, чтобы контролировать внутреннюю температуру диффузионной печи, которая может выполнить процесс окисления. Каждая указанная температурная зона имеет внешнюю и внутреннюю термопару, чтобы убедиться, что результаты меры являются надежными. Внутренние термопары используются для измерения температуры пластины, обычно они имеют 3 ~ 9 точек измерения, что точно представляет температуру пластины. Внешние термопары используются для ощущения внешней поверхности трубки печи, каждая из которых обычно имеет только одну пару проводов, чтобы дать косвенное измерение печи. Обычно температура процесса окисления ниже, чем процесс диффузии, поэтому может быть развернута основная многоточечная термопару BF.

Технические параметры	Основная многоточечная термопарура BF
Технические параметры	Внутри
Тип	K,N
Диаметр проволоки или MIMS	φ2~4
Рабочая температура (степень)	0~950
Точность (степень)	± 1,5 или 0. 4%· T.
Длина защитной трубки (мм)	Меньше или равна 4000
Диаметр защитной трубки (мм)	φ14~22
Защитный материал трубки	310S или 321
Горячая конечная структура	Изолированный
Количество очков	3 ~ 9 баллов
Завершение	Небольшой разъем
Компенсационный провод	Kx (nx) {{0}} × 0,5FPF
Характеристики структуры	Легко разобрать, T/C для любой точки может быть удален при необходимости, если это