S -полупроводниковая термопара типа S

Диапазон температуры нагрева: Ambient -1100 степень
Максимальная скорость отопления: 15 градусов /мин.
Максимальная скорость охлаждения: 5 градусов /мин.
Точность контроля: ± 2 градуса
Температурный однородность: ± 0. 5 градусов /760 мм

Диффузионная печь, которая могла бы выполнить процесс окисления, состоит из рамы печи, обогревателя, устройства управления нагреванием, устройства измерения температуры, трубки кварцевой печи, лотка с толчком, некоторым путем газа и устройства для очистки выхлопных газов. Требования к контролю температуры такого рода диффузионные печи следующие:

Диапазон температуры отопления	Ambient -1100 степень	Точность управления	± 2 градуса
Максимальная скорость отопления	15 градусов /мин	Температура	± 0. 5 градусов /760 мм
Максимальная скорость охлаждения	5 градусов /мин	Стабильность	± 0. 5 градусов /24 ч

Диффузионная печь окисления обычно использует термопары внутри и снаружи печи для динамического управления температурой. Каждая температурная зона оснащена одной внутри и одной внешней термопарой, чтобы обеспечить надежность контроля температуры. Type Semiconductor Thermocouple (общая практика использует многоточечную термопару, которая имеет 3-9 различные места для получения информации о температуре), часто выбирается как внутренняя термопару, которая используется для непосредственного ощущения температуры кремниевой пластины и может транслировать точный температурный дисплей вафера.

Описание продуктов

Duchin Instrument разработал типы конструкций для многоточечной термопары, многоточечное калибровочное оборудование для экспериментов, тип конструкции холодной соединения, точела термопары, тип терминальной упаковочной структуры для многоточечной термопары, типов технологий, соответствующей температуре, и другой продовольственной технической технологии, соответствующей температуре, и другой продовольственной технологии для соответствующих технологий, соответствующих требованиям, и другой продологии. Sensing. Технические параметры полупроводниковой термопары типа S, специализированная на фотоэлектрическом оборудовании, следующие:

Технические параметры	Внутренняя термопару
Тип	S,R
Диаметр проволоки или MIMS	φ0.35~0.5
Рабочая температура (степень)	0~1100
Точность (степень)	±1.0
Длина защитной трубки (мм)	Меньше или равна 4000
Диаметр защитной трубки (мм)	φ12~18
Защитный материал трубки	Кварц
Горячая конечная структура	Незащищенный
Количество очков	3 ~ 6 баллов
Завершение	Небольшой разъем
Компенсационный провод	Sc {{0}} × 0,5FPF
Характеристики структуры	Чтобы собрать T/C в комбинации для каждой точки довольно сложно